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지점 탐색 모델(Key Point Detection) 기술을 이용하여 반도체 히터 블록 이미지 내 검사가 필요한 부분에 히터 블록 및 열선의 외곽 부분을 탐색하고, 거리를 측정하여 편향 정도를 판단한 사례

  • Related Product
    Hubble
  • Industry
    Semiconductor

지점 탐색 모델을 이용한 히터 블록 내 열선 편향 정도 측정

 

Case-Study히트블럭

 

반도체(Semiconductor) 공정의 열 에너지 공급을 담당하는 히터 블록 내 검사가 필요한 부분을 X-RAY 검사 장비를 통해 이미지를 확보한 후, 픽셀 단위의 세그먼테이션(Segmentation) 기술을 활용하여 미리 설정된 편향 정도를 값으로 블록 내 설치된 열선의 편향 정도를 탐색하여 불량 제품을 자동 검출.

* 블록 내 전체X-RAY 이미지에서 검사가 필요한 지점만 탐색하여 편향정도 확인 가능

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