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Blades molecular vacuum pump. Abstract industrial background.

기대 수명에 미치지 못하는 진공펌프에 대해 스코어링 로직(Scoring Logic)을 활용해 이상탐지한 사례

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  • Industry
    Semiconductor

진공펌프 조립데이터 기반 이상탐지

 배경

  • 조립시 A급 부품으로 조립하여도 기대 수명에 미치지 못하는 진공펌프 발생
  • 부품검사를 통과한 A 급 부품의 조립된 펌프가 오작동
  • 오작동한 결과와 부품사이의 상관관계를 도출하기 어려움
  • 문제가 발생한 원인에 대하여 부품에 대한 전수 검사와 교체 작업에 발생하는 비용이 상당함

적용 기술

  • 다중 상관관계를 통한 복합 불량 원인 도출

  • 수명데이터와 출하데이터의 분석이 어려운 부분을 스코어링(Scoring) 로직을 통해 해결

적용 결과

  • 불량별 유형 분류 정확도 99.98% 달성
  • 모델에서 산출한 불량 원인(feature importance)과 상관변수(correlation coefficient)에서 선정된 상위 변수 상당부분 일치
  • AccuracyROC-AUC 점수 모두 우수한 성능을 보임
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