소음데이터 기반 불량탐지 알고리즘 개발
배경 냉장고 출고 전 검사 시 발견되지 않은 불량 발생 냉장고 컴프레셔 소음데이터의 노이즈 발생으로 인한 데이터 처리 어려움 정상 38만장, 불량 36장으로 데이터 불균형 문제 제조업 특성상 적은 데이터로 인한 불량 탐지 어려움 적용 기술 데이터 군집 별 데이터 유형 확인 데이터의 군집화(Clustering)를 통해 불량 유형의 분포 확인 탐지한 불량의 소속 클러스터 대표 특징 …
[보관함:] Case Study
어텐션 스코어를 활용한 진공 펌프 수명 예측
배경 부하 테스트 합격 후 고객사의 환경에서 작동 중 기대수명에 도달하지 못하고 장비 이상현상이 발생 출하 이후 발생하는 문제에 대한 정확한 원인 규명이 어려움 적용 기술 Attention Score를 이용해 중요 변수를 분석하고, Attention Score 변화 추이 확인 진공펌프의 현재 상태 점수와 시간의 흐름에 따른 상태 변화 점수를 확인 가능 적용 결과 수명 예측 정확도 95.35% …
진공펌프 조립데이터 기반 이상탐지
배경 조립시 A급 부품으로 조립하여도 기대 수명에 미치지 못하는 진공펌프 발생 부품검사를 통과한 A 급 부품의 조립된 펌프가 오작동 오작동한 결과와 부품사이의 상관관계를 도출하기 어려움 문제가 발생한 원인에 대하여 부품에 대한 전수 검사와 교체 작업에 발생하는 비용이 상당함 적용 기술 다중 상관관계를 통한 복합 불량 원인 도출 수명데이터와 출하데이터의 분석이 어려운 부분을 스코어링(Scoring) 로직을 통해 해결 …
가상 계측 딥러닝 모델을 통한 웨이퍼의 식각 깊이 예측
배경 나노미터 (Nanometer) 단위로 예측이 어렵고, 물리적으로 계측 시 많은 비용 발생 공정 결과에 영향을 주는 주요 변수를 확인 할 수 없어 효율적인 공정 제어 불가 지나가고 있는 웨이퍼의 식각 깊이를 예측하기 희망하며, 예측 지점은 21개 적용 기술 공정센서 데이터와 OES 데이터, 시계열 데이터를 이용한 가상계측 (Virtual Metrology) 딥러닝 모델 적용 EA 추정 모델 기반의 …
플라즈마 공정에서 부품 손상으로 인한 누출 실시간 탐지
배경 Ashing 공정을 비롯해 플라즈마를 사용하는 대부분의 공정에서 챔버 내부를 진공으로 만들어 프로세스 진행 설비의 특정 부품에 손상이 갈 경우 외부 공기가 내부로 유입되는 누출(Leakage) 현상 발생 설비를 멈추지 않으며 내부 공정에 영향을 주지 않는 센서인 로그 데이터와 OES를 이용해 10mTorr/m 이하의 누출(Leak)을 탐지하길 희망 Concept drift 발생으로 동일 설비, 레시피로 공정을 수행해도 데이터 분포에서 큰 …
지점 탐색 모델을 이용한 히터 블록 내 열선 편향 정도 측정
반도체(Semiconductor) 공정의 열 에너지 공급을 담당하는 히터 블록 내 검사가 필요한 부분을 X-RAY 검사 장비를 통해 이미지를 확보한 후, 픽셀 단위의 세그먼테이션(Segmentation) 기술을 활용하여 미리 설정된 편향 정도를 값으로 블록 내 설치된 열선의 편향 정도를 탐색하여 불량 제품을 자동 검출. * 블록 내 전체X-RAY 이미지에서 검사가 필요한 지점만 탐색하여 편향정도 확인 가능
