제조 AI 전문 스타트업 알티엠(RTM)이 반도체 공정 개발을 윈한 국책과제 수행기업으로 선정됐다.

알티엠은 반도체 장비업체 피에스케이와 빅데이터 플랫폼 구축업체인 유디에스와 공동연구 컨소시엄을 구성해 산업통상자원부 주최의 ‘2020년 산업기술 챌린지트랙 차세대 지능형 반도체 기술개발’ 사업 중 ‘실시간 공정 제어가 가능한 원자층 식각 장비 개발’ 과제로 최종 선정되었다.

해당 컨소시엄은 피에스케이 주관으로 알티엠과 유디에스 외에도 한양대학교, 중앙대학교, 성균관대학교가 참여를 하며 2023년 12월까지 60억원을 지원 받을 예정이다.

이번 과제를 통해 기존 시각장비로 실현이 어려웠던 나노미터 패턴을 구현하기 위해 원자 단위의 식각 공정을 개발하고자 한다.
이러한 미세공정을 제어하기 위해 실시간 공정 데이터를 취합하여 AI로 설비를 진단 및 제어할 수 있는 시스템 개발이 본 과제의 목표이다.

알티엠의 성기석 대표는 “기존 방식으로 원자층 식각 공정을 운영하기에 기술도 부족할뿐 아니라 실시간 진단과 제어가 어려웠다.”며 “알티엠을 비롯해 각 분야의 전문 연구기업과 산학협력단이 협업해 향후 원자층 식각 장비 분야를 선도하겠다”고 말했다.