Blades molecular vacuum pump. Abstract industrial background

Attention Score를 이용해 진공 펌프의 상태를 측정하고 시간의 흐름에 따른 상태 변화를 예측한 사례

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  • Industry
    Semiconductor

어텐션 스코어를 활용한 진공 펌프 수명 예측

 배경

  • 부하 테스트 합격 후 고객사의 환경에서 작동 중 기대수명에 도달하지 못하고 장비 이상현상이 발생
  • 출하 이후 발생하는 문제에 대한 정확한 원인 규명이 어려움

적용 기술

  • Attention Score를 이용해 중요 변수를 분석하고, Attention Score 변화 추이 확인
  • 진공펌프의 현재 상태 점수와 시간의 흐름에 따른 상태 변화 점수를 확인 가능

적용 결과

  • 수명 예측 정확도 95.35% 달성

  • MAPE(Mean Absolute Percentage Error) 값이 우수한 성능을 보임

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