RTM은 인공지능(AI) 공정 제어·진단 솔루션을 개발하는 회사다. 반도체, 디스플레이 등 하이테크 제조업 공정이 갈수록 고도화되면서 RTM을 찾는 기업이 늘고 있다. 2018년 6월에 창업한 RTM은 지난해 블루포인트파트너스와 킹슬리벤처스로부터 투자를 유치했고, 국책과제 수행기업에도 선정됐다. 반도체 건식 제거(드라이스트립·Dry strip) 장비 세계 1위 기업 피에스케이, 빅데이터 플랫폼 구축 업체 유디에스와 구축한 공동연구 컨소시엄이 산업통상자원부가 주관하는 ‘2020년도 산업기술 챌린지트랙 차세대 지능형 반도체 기술개발 사업’ 중 ‘실시간 공정 제어가 가능한 원자층식각장비 개발’ 과제에 참여하게 됐다. 더불어 실시간으로 바뀌는 미세 반도체 공정 데이터를 기반으로 공정 상태를 진단하는 AI 솔루션 개발도 맡기로 했다.
지난해 포브스코리아 인터뷰에서 성기석 RTM 대표는 “10나노급 반도체 제조 설비만 수만 대, 100만 개 넘는 센서가 쏟아내는 데이터만 45억 개가 넘는다”고 말했다. 박진우 최고전략책임자(CSO)는 “지난해 다수 반도체, 배터리, 산업용 가스 관련 AI 기반의 공정 진단 데이터를 쌓았고, 공정 진단 솔루션 개발도 막바지 작업에 돌입했다”고 설명했다. 두 사람은 한성과학고 시절부터 카이스트까지 학교 선후배 사이로, 성 대표는 미국 텍사스 A&M대학교에서 머신러닝(기계학습) 박사학위를, 박 이사는 카이스트에서 경영공학 박사학위를 취득했다.개발 성과도 인정받았다.
RTM은 지난해 중소벤처기업부가 주최한 ‘ComeUp2020’ 행사 중 ‘인공지능 챔피언십’ 최종대회에서 제조 분야 우승을 차지했다. LG사이언스파크의 소음 데이터를 기반으로 분량을 탐지하는 문제를 제시해 호평을 받았다. 올해는 AI 공정 진단 솔루션과 관련해 공동출원 1건과 단독출원 4건을 진행 중이다.
