EHM
반도체 설비 성능 진단 AI 플랫폼
반도체 설비의 이상을 실시간으로 탐지하고, 공정 결과를 예측하는 등 반도체 산업의 공정과 설비 문제해결에 최적화된 딥러닝 솔루션입니다. 양산 설비를 실시간으로 모든 파라미터 분석이 가능하여 미세 변화와 경시변화를 탐지하고 불량의 원인까지 추적할 수 있습니다.
개발 배경
반도체 전공정 장비 제조사로부터 의뢰를 받아 Uniformity 이상탐지 솔루션 개발 진행
- ER과 함께 Etch 공정의 주요 성능 지표이기에 poor uniformity 탐지하는 것이 필요하며 uniformity 성능과 연관된 주요 센서를 도출하여 모니터링 하고자 함
도입 성과
Uniformity 근사 추정하는 Health Score (상관관계 0.8) 개발 및 주요 센서 3종 도출
- ER 편차 (≒Uniformity) 가 커질수록 Health Score 낮아지며 음의 상관관계 0.8
- Uniformity 성능과 연관된 설비의 주요 모듈을 찾고, 주요 센서 3종 도출 및 검증
적용 기술 및 문제해결 방법
자체 개발한 ‘Health Scoring’ 기술을 Uniformity에 특화하여 맞춤 모델 개발
- Health Scoring은 정상 성능일 때의 센서별 패턴을 학습하여 이상을 탐지하는 EHM의 Basic 기능
- Uniformity가 저하될 때 특정 모듈의 Health Score가 떨어지는 것을 확인함으로써 Uniformity 특화 Health Score를 개발
- 관련 모듈의 주요 센서들을 분석하여 3종의 Key Feature를 정의함
참고 이미지
Hubble
제조산업 특화 통합 비전 AI 솔루션
제조업 데이터 특성에 최적화된 딥러닝 솔루션을 기반으로 지식이 없는 사용자도 손쉽게 최고의 품질 검사 AI 모델을 만들 수 있으며, 숙련된 검사원처럼 복잡하고 제각각인 검사 규칙을 적용하여 검사할 수 있는 국내 최초의 인공지능 검사원 솔루션입니다.
Tailored AI
특수 목적 맞춤형 제조 AI 솔루션 개발
상용 소프트웨어로 해결하기 어려운 특수한 공정 문제를 해결하기 위해 맞춤형 AI 모델 및 솔루션을 구축합니다. Pre PoC(Proof of Concept)부터 시작하여 데이터 컨설팅과 인프라 구축까지 Turn-key Project 서비스를 제공합니다.
